本专利发明了一种二甲基二氯硅烷采用浓酸水解制备低聚硅氧烷的新工艺，解决了传统工艺耗能大，产品质量差的难题，推动了有机硅行业低聚硅氧烷的制备技术的发展。开发了浓酸直接低压析出HCL气体技术和“两级沉降分离与三级析气相结合”的脱酸新技术，节约了浓酸解析的蒸汽能耗、降低了水解物的含氯量，产品氯离子含量由10ppm降低到5ppm以下。